平面研磨机为精密研磨设备，被研磨的产品放置在研磨盘上，研磨盘逆时钟旋转，工件自己转动，用重力加压的方式对工件施压，工件与研磨盘作相对旋转磨擦，相反像铝合金，锌合金，不锈钢，钢材，铜材，铝材，钛合金等金属类可以使用此工艺。研磨后，工件表面发生位错增值，从而导致位错密度增加;同时由于位错的运动，导致位错的交割。这两种现象均导致了已加工表面的硬化，这也是工件表面硬化的主要原因。

　　根据数据分析表明平面研磨机，随着研磨压力和速度的增加，工件表面硬化程度变大。但是也不能盲目增加研磨压力和研磨速度，过大的压力会使工件破碎、变形、电机超负荷，过快的速度会是工件塌边，尤其是在用平面研磨机研磨脆性材料时。这种增加表面硬度的研磨工艺大多只适应于金属材料的研磨抛光加工，不适应于过于脆，薄和易碎工件，比如：过薄的玻璃，硅片，蓝宝石衬底等。

　　纳米级高效研磨加工技术在加工效率、加工成本、加工质量和加工精度上具有明显的优势，具有很好的应用前景。目前，新型高速平面研磨机，由于性能先进，有关的平面研磨机样机已在国内十几家单位得到了应用，而且还两次出口到澳大利亚，受到了国内外用户的普遍好评。但目前此技术仅限于用于个别件的加工中，应用得还不够普遍，还应进一步完善加工工艺，优化研磨工艺参数，扩大研磨加工范围;还要完善平面研磨机，提高平面研磨机性能，改进平面研磨机造型，使其达到实用化、商品化的程度，以便更广泛地推广应用。